洁净空调系统均采用全空气系统。风系统均需采用低、中、高效过滤器三级过滤。空气处理没备和风机均集中设置在空调机房内。高效过滤器布置在末端。

    1)洁净室设计对建筑的要求

    (1)围护结构应选用在温度、湿度变化和振动作用下变形小和气密性能好的建筑结构和材料。

    (2)隔墙采用轻质材料制作。

    (3)人流、物流要绝对分开，人流方向应由低级别洁净室到高级别洁净室。

    (4)建筑设计要注意防火，人员疏散线路要清楚、通畅。

    2)洁净室设计基础原始资料

    (1)建设地区室外大气的气象资料和室外大气的含尘浓度。

    (2)洁净室的设计参数。

    (3)生产工艺资料(生产设备产热、产湿量；排风量；排放有害物的品种、性质、浓度和排放量)。

    (4)建筑原始资料。

    (5)所需要的冷源、热源、电源的性质。

    3)气流分布

    (1)对气流分布的基本要求

    ①送风气流应以最短的距离，不受污染地直接送到工作区，尽量覆盖工作区，使污染物在扩散之前就被携带到回风口。

    ②尽量减少涡流，避免把工作区以外的污染物携带人工作区。

    ③尽量控制上升气流的产生，防止灰尘的二次飞扬．减少灰尘对工件的污染。